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中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購招標公告

   2021-09-13 2
核心提示:中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購招標公告1 招標條件本招標項目中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購已審批,資金來源已落實
中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購

招標公告

1 招標條件

本招標項目中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購已審批,資金來源已落實。

2 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號

CNSC-21401Y021729

2.2 招標項目名稱

中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購

2.3 招標項目概括

本項目對一套ICP刻蝕工藝系統進行非標研發,用于φ50~200mm尺寸規格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕。

2.4 招標范圍

ICP刻蝕工藝系統一套,系統需采用模塊化設計,包括工藝模塊、傳輸模塊和軟件智能操控,可實現對腔室內等離體密度的均勻控制,φ50~200mm尺寸規格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕工藝要求。

交付成果包括:(1)ICP刻蝕工藝系統裝置實物;(2)相關技術文件、設計說明書、圖冊和報告等;(3)質保資料:質量計劃;出廠證明;合格證;裝箱單。

2.5 交貨地點

北京市中國原子能科學研究院院內指定位置。

2.6 交貨期

(1)合同簽訂后15個工作日內,提交系統設計圖冊及工藝開發方案。

(2)合同簽訂后90天內,完成系統硬件和工藝流程的源地驗收。

(3)合同簽訂后120天內,完成系統現場安裝調試、合格鑒定及交付驗收。

2.7 質量標準

質保期:

ICP刻蝕工藝系統的質保期為自項目驗收合格起2年;

質保期內廠商應免費保修,非人為因素引起的儀器損壞由廠商免費負責維修;并終身提供技術服務。

3 投標人資格要求

3.1 本次招標投標人應滿足以下要求:

(1)在中華人民共和國境內擁有合法經營權力,具有獨立的法人資格,符合國家有關規定,有資格和能力完成本招標項目的相關人員、設備、財務、技術能力。

(2)投標人應遵守中華人民共和國法律、法規以及相關行業的規定。

(3)財務狀況:投標人須有良好的銀行信用和商業信譽,不得處于破產、停業、財產被接收或凍結等任何不利于合同目的實現的情形,財務狀況良好。

(4)本項目不接受代理商投標。

(5)近三年投標人至少具有一個類似項目供貨業績,投標時須提供業績證明材料并蓋公章。

(6)本項目不接受聯合體投標。

3.2 本次招標不接受聯合體投標

4 招標文件的獲取

4.1 招標文件售價:本項目共1個包,招標文件售價人民幣包1:中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購售價:500.00元整,售后款項不予退還。

招標代理機構收款 開戶 收款

未曾在中國電力招標采購網(www.yzpb.com.cn)注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載招標文件!

項目 聯系人:李工  
咨詢電話:010-51957458 
傳真:010-51957412 
手機:18811547188 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 郵箱1211306049@qq.com

備注:欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后,查看項目業主,招標公告,中標公示等,并下載資格預審范圍,資質要求,招標清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標,具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準,以招標業主的解答為準本。

來源:中國電力招標采購網?編輯:ecp.cnnc
 
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