招標公告

深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（招標代理機構）受淮海工業集團有限公司（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機

1.2 招標編號：0779-24400724A005

1.3設備技術要求：

1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統、冷卻系統、真空系統、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現象;

6)工控系統基于 Windows7 及以下版本的操作系統；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內

1.6 項目現場：山西省長治市潞州區淮海工業集團有限公司。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商應獲得制造商的有效授權，須提供正本（制造商的有效授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的；或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的）。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。

3. 招標文件獲取

3.1凡有意參加投標者，請于2024年11月21日至2024年11月28日17時(北京時間)，登陸中招聯合招標采購平臺。（網址：www.365trade.com.cn,注冊操作咨詢電話010-86397110）購買并下載招標文件，現場不予受理。

3.2 招標文件每套售價人民幣800元，售后不退。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2024年12月12日09時30分，地點為北京市海淀區金溝河路與采石北路交叉口東南角88號大樓一層會議室。

4.2逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

5. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。

6. 發布公告的媒介

本次招標公告同時在中招聯合招標采購平臺、中國招標投標公共服務平臺和中國國際招標網、中國兵器電子招標投標交易平臺發布。

7.聯系方式

招標人名稱：淮海工業集團有限公司

地址：長治市城東路惠豐街1號

聯系人：趙華

電話：18035532935 

招標代理機構名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司

地址：北京市海淀區金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓六層

項目負責人：楊經理

電話：010-88527765

售賣聯系人：劉女士

電話：010-88529059

傳真：010-88529153

電子郵箱：zhaobiaobu@zonkex.com

2024年11月21日

202411181723456296530522966編輯：365trade.co